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▲SiC功率半导体产业链(图源:行家说三代半)
其中,碳化硅衬底和外延片的价值量占比超过一半,衬底成本最大,占比达47%;其次是外延成本占比为23%,成为决定碳化硅器件品质的关键。衬底即通过沿特定的结晶方向将晶体切割、研磨、抛光,得到具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性的洁净单晶圆薄片,用于生长外延层,可分为半绝缘型及导电型。SiC衬底市场高度集中,全球衬底前三名是Wolfspeed、Ⅱ-Ⅵ、Rohm。国外厂商在两类衬底市场中均占有主要份额。从半绝缘型SiC衬底市场份额来看,Wolfspeed、II-VI和山东天岳三家公司平分秋色,各占据约30%的市场份额。从导电型SiC衬底的市场份额来看,Wolfspeed占据超60%的市场份额,在SiC单晶市场价格和质量标准上有极大话语权,天科合达和山东天岳占比仅为1.7%和0.5%。外延环节主要是在碳化硅衬底上,经过外延工艺生长出的特定单晶薄膜,衬底晶片和外延薄膜合称外延片。在半绝缘型碳化硅衬底上生长氮化镓外延层制得碳化硅基氮化镓(GaN-on-SiC)外延片,可制成微波射频器件,应用于5G通信等领域;在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层(SiC-on-SiC)制得碳化硅外延片,可制成功率器件,应用于电动汽车、新能源、储能、轨道交通等领域。SiC外延片属于行业产业链中间环节,其中,Wolfspeed、ShowaDenko呈现双寡头垄断市场,合计约占SiC导电型外延片95%的市场份额。目前国内相关外延厂商东莞天域和厦门瀚天天成等均已实现产业化,可供应4-6英寸外延片。中电科13所、55所、希科半导体等也能供应外延片,整体产能仍有较大提升空间。SiC器件环节主要负责芯片的制造,整体涉及的流程较长,以集合芯片设计、芯片制造、芯片封测等多个产业链环节于一体的IDM模式最为常见。在器件制备方面,由于材料的特殊性,器件过程的加工和硅不同,采用了高温工艺,包括高温离子注入、高温氧化以及高温退火工艺。在SiC器件市场,欧美厂商占据主要份额,90%以上份额被国外公司占据。根据Yole 2022年数据,ST占据了全球37%的市场份额,成为市场的领导者;其次是英飞凌占据19%的份额,紧随其后的是Wolfspeed,占据了16%的份额。后面依次是安森美、罗姆和三菱电机等,这些厂商共同占据了全球80%以上的SiC市场份额,与各大车企及Tier1厂商互动密切。▲图源:yole
国内厂商在SiC功率器件领域入局相对较晚,相关企业华润微、士兰微、斯达半导、时代电气、泰科天润、安徽长飞先进、派恩杰、上海瞻芯、中电科55所及13所等正积极布局碳化硅器件。当前国内厂商仍处于发展初期,与国际巨头存在一定差距。目前SBD国内已经量产,但至少相差一代;OBC方面,国内通过车企测试的只有一两家;MOSFET方面,目前ST、英飞凌、Rohm等600-1700V SiC MOS已实现量产并达成签单出货,而国内目前SiC MOS设计已基本完成,多家设计厂商正与晶圆厂流片阶段,后期客户验证仍需部分时间,在电流密度、减薄工艺、可靠性都亟需提升,因此距离大规模商业化仍需要时间。高景气行情下,国产碳化硅市场亟待突围。整体来看,目前碳化硅材料和功率器件主要由海外企业主导,国内企业仍处于发展初期,与国际巨头存在一定差距,正在加速追赶。据方正证券测算,预计2026年全球SiC衬底有效产能为330万片,距同年629万片的衬底需求量仍有较大差距。在业内形成稳定且较高的良率规模化出货前,整个行业都将持续陷于供不应求。SiC晶圆方面,尽管今年全球经济和其他半导体材料市场普遍出现放缓,但SiC晶圆将持续强劲增长。据TECHCET发布了最新的碳化硅晶圆材料报告预计,SiC晶圆市场将在2023年进一步增长,达到107.2万片晶圆,同比增长约22%。2022-2027年的整体复合年增长率估计约为17%。▲碳化硅本土产业链概览(修正:基本半导体是IDM模式)(图源:广发证券)
众所周知,IDM、Fabless和Foundry分别代表着半导体芯片行业的三种运营模式,是依据其生产设计及制造能力不同而划分的。通常涉及芯片设计、制造、封测等若干环节,半导体芯片企业负责的环节不同,也就产生了不同的运营模式。在碳化硅芯片领域,目前全球的头部企业都是以IDM为主,而国内IDM厂商相对较少。对此,士兰微器件成品产品线市场总监伏友文表示,SiC产业选择IDM模式能更好的保障业务长期稳定的发展,是产业发展的重要趋势。IDM模式可有效进行产业链内部整合,设计研发和工艺制造平台开发同时开展,两者协同优化可快速识别和解决产品研发中遇到的问题,缩短产品开发周期,对研发效率、成本管控、产品质量和产能供应的稳定性等方面十分有利,帮助企业构筑核心竞争力。基于IDM模式的优势,IDM企业华润微的碳化硅产品进展顺利,去年碳化硅器件整体销售规模同比增长约2.3倍,待交订单超过1000万元,投片量逐月稳步增加。士兰微也是采用IDM模式,旗下士兰明镓在去年已实施“碳化硅功率器件芯片生产线”项目的建设,去年10月,士兰微筹划非公开发行募资65亿元,募投项目之一便是用于“年产14.4万片碳化硅功率器件生产线建设项目”,并在今年4月26日定增获上交所审核通过。士兰微董事长陈向东曾在接受采访时表示,通过发挥IDM一体化优势,士兰微碳化硅功率器件芯片量产线进展顺利,已具备月产2000片6英寸SiC芯片的生产能力,预计到今年年底SiC芯片生产能力将提升至6000片/月;士兰SiC MOS芯片性能指标已达到国际先进水平;士兰微用于汽车主驱的碳化硅功率模块已向国内客户送样,争取在今年年底前上车,同时士兰微碳化硅产品在光伏、储能、充电桩、OBC等领域也已展开全面推广。更多的厂商嗅到了SiC代工的商机。2023年5月22日,安徽长飞先进宣布其位于武汉的SiC晶圆厂正式启动,据悉该项目规模达年产36万片SiC MOSFET晶圆,包括外延、器件设计、晶圆制造、封装等,预计2025年建设完成。瞻芯电子也于2020年初启动了碳化硅芯片晶圆厂项目筹备,该工厂于2022年7月正式投片生产,标志着瞻芯电子由Fabless迈向IDM的战略转型。国内SiC功率器件的厂商大多有向IDM模式演进的趋势。但IDM模式也并非适用于任何企业。有业内人士指出,目前国内很多碳化硅厂商体量并不大,尚未实现盈利,若是大规模建厂的话,运营成本太高,对现金流的考验非常大,工艺开发的难度和客户认可度也是问题。因此,仍有一部分碳化硅厂商坚持采用Fabless的经营模式发展。实际上,如果能得到代工厂的支持,Fabless厂商在设计方面确实更具灵活性,在碳化硅MOS方面的研发进程也较快。同时,代工厂的资质也可以为其供应链可靠性背书。以芯粤能为例,其商业模式就是打造开放式Foundry平台,面向整个的市场提供代工服务,与整个产业链协同发展。芯粤能的碳化硅芯片制造项目总投资额为75亿元,建成年产24万片6英寸和24万片8英寸碳化硅晶圆芯片的生产能力,计划在2023年5月份交出首批车规级样品。芯粤能总裁徐伟表示,“在过往的两年里,硅基平台产能不足凸显,尤其是市场需求巨大的功率器件,因此需要碳化硅快速布局并加快扩产。这就需要对国内碳化硅芯片加工平台这样一个相对短板来进行补足,芯粤能目前正好踩在市场发展的节奏上。代工厂的出现让国内一众SiC参与者有了坚固的后盾和弯道超车的可能性。另一方面,考虑到新能源汽车市场的发展周期,碳化硅的需求爆发期可能就在近三年内,若是建厂首先得考虑建厂周期和设备交期,其次是从产线建好投产到稳定运行也需要花费至少3年时间,还要通过车规级认证等,耗时太久,公司就有可能错过新能源汽车市场的关键窗口期。这也是很多公司短期内坚持以fabless模式运营的原因所在。综合来看,IDM和fabless各有优势。从产业发展角度来看,业内也一直存在着IDM和Foundry模式的讨论。回顾过去的发展轨迹,可以看到国内的Foundry+Fabless模式在很多领域也能做得非常好。碳化硅也是这样,从衬底外延材料制备,到芯片代工,再到模组生产等各个领域都不断有企业崭露头角。因此,结合当前碳化硅产业的发展阶段和时间窗口等因素来看,国内IDM和Foundry+Fabless两种商业模式将会长期并存,而且各自满足终端市场不同的应用场景。2、8英寸SiC,开始冲刺成本高,一直是碳化硅器件被吐槽的弊病。因为碳化硅在生产环节存在单晶生产周期长、环境要求高、良率低等问题,碳化硅衬底的生产中的长晶环节需要在高温、真空环境中进行,对温场稳定性要求高,并且其生长速度比硅材料有数量级的差异。因此,碳化硅衬底生产工艺难度大,良率不高。这直接导致了碳化硅衬底价格高、产能低的问题。▲SiC MOSFET和IGBT价格对比(图源:中国科学院电工研究所)
其中,衬底是碳化硅产业链的核心,也是未来碳化硅产业降本、大规模产业化的主要驱动力。因此,提高衬底良率和产能是SiC降本的核心。伏友文指出,为进一步提高生产效率并降低成本,大尺寸是碳化硅衬底制备技术的重要发展方向。近年来,碳化硅衬底正不断向大尺寸方向演进,衬底尺寸越大,单位衬底可制造的芯片数量越多,单位芯片成本就越低。目前,主流碳化硅衬底尺寸为6英寸,8英寸衬底正在成为行业重要的技术演化方向,在降低器件单位成本、增加产能供应方面拥有巨大的潜力。据Wolfspeed统计,6英寸SiC晶圆中边缘芯片占比有14%,而到8英寸中占比降低到7%。伴随着尺寸扩张带来的规模效应以及自动化产线带来的相关成本的降低,Wolfspeed预计至2024年,8英寸衬底带来的单位芯片成本相较于2022年6英寸衬底的单位芯片成本降低超过60%,这将持续推进碳化硅产品的降价,从而打开应用市场。从技术进展来看,国产碳化硅厂商基本以6英寸碳化硅晶圆为主,而Wolfspeed、ROHM、英飞凌、ST等国际碳化硅大厂已经纷纷迈入8英寸,并将量产节点提前到今年。前不久,英飞凌与国内厂商天岳先进和天科合达签约,也将助力英飞凌向8英寸碳化硅晶圆过渡。国内公司总体处于向6英寸加速实现量产、8英寸布局研发的阶段,并逐渐退出4英寸市场。根据中国宽禁带功率半导体及应用产业联盟的预测,预计2020-2025年国内4英寸SiC 晶圆市场逐步从10万片减少至5万片,6英寸晶圆将从8万片增长至20万片;2025-2030年,4英寸晶圆将逐步退出市场,6 英寸增加至40万片。海通证券分析师余伟民指出,目前碳化硅衬底市场以海外厂商为主导,国内企业市场份额较小。国内尺寸迭代较海外厂商略慢一筹,但近年来发展提速明显。截至2022年11月,晶盛机电、天岳先进、天科合达、山西烁科分别宣布掌握了8英寸碳化硅衬底制备技术,但基本都还处于验证阶段,尚未实现量产或仅小规模量产。为什么国产厂商在此发展速度较慢?“8英寸碳化硅晶圆”的实现还面临哪些挑战?伏友文对此表示,尽管当前8英寸在快速发展,但实现量产的企业还只有Wolfspeed。当前国内主要集中在4英寸至6英寸生产阶段,8英寸SiC晶圆量产面临较多的难点,比如衬底制备中8英寸籽晶的研制、大尺寸带来的温场不均匀、气相原料分布和输运效率问题、高温生长晶体内部应力加大导致开裂等,以及后续外延工艺、相关的设备发展等,均需要产业上下游紧密协同来攻克挑战。伴随着SiC衬底的成熟,预计成本将进一步下降,这对于整个SiC产业而言,也是发展的必然趋势。3、国产碳化硅,上车难?降低成本也是碳化硅器件上车的关键。早在2018年,特斯拉率先在Model3的主驱逆变器里,使用基于碳化硅材料的碳化硅MOSFET,以替代传统的硅基IGBT,此举引发了行业震动。碳化硅器件凭借体积小、性能优越、节能性强,还顺带缓解了续航问题,一举成为新能源车的当红炸子鸡,一众车企后续纷纷效仿。在应用场景方面,电动汽车是碳化硅最大的下游应用市场,涉及到功率器件的应用包括电驱、OBC、DC/DC和非车载充电桩等。其中,碳化硅器件主要应用于电驱中的主逆变器,能够显著降低电力电子系统的体积、重量和成本,提高功率密度。微型轻量化的SiC器件还可以减少因车辆本身重量而导致的能耗。中国一汽研发总院院长赵永强表示,需求驱动牵引SiC功率模块在车用领域快速推广应用与进一步升级,要求电驱系统进行SiC匹配开发。基于新能源整车需求,车规SiC功率模块封装技术向着低杂感、高散热、集成化、高可靠方向发展,主流SiC功率芯片以Wolfspeed、ST、Rohm、Infineon的沟槽栅结构为代表,批量应用前景广阔。近年来,随着新能源汽车渗透率稳步抬升的同时,头部车企对于碳化硅功率半导体试水的速度、广度和深度不断推进,碳化硅上车的呼声越来越高。据TrendForce集邦咨询数据统计, 2023年整体SiC功率元件市场规模达22.8亿美元,年成长41.4%,预计2026年SiC功率元件市场规模可望达53.3亿美元,其中车用SiC功率元件市场规模将攀升至39.4亿美元。目前大部分的市场份额以国际品牌为主,包括Wolfspeed、ST、ON、Infineon等。同时,国外车企已与全球领先的SiC芯片企业实现了产能绑定。随着新能源汽车需求的爆发,国内车企或需提前考虑SiC的供给缺口的问题。相较于美日欧企业完整的产业链,国内碳化硅企业在技术和产能上还存在差距。那么,目前国产碳化硅器件上车进展如何?有不少下游厂商反馈,车企正在加速导入国产碳化硅衬底、外延片,上下游厂商持续合作以共同改善良率,希望构建本土供应链。士兰微碳化硅功率器件芯片量产线进展顺利,已具备月产2000片6英寸SiC芯片的生产能力,预计到今年年底SiC芯片生产能力将提升至6000片/月;士兰 SiC MOSFET芯片性能指标已达到国际先进水平;士兰微用于汽车主驱的碳化硅功率模块已向国内客户送样,争取在今年年底前上车;
三安光电目前有7款产品通过车规级认证并开始逐步出货;
泰科天润的SiC二极管已有多年OBC应用积累,累计出货7kk;
中电科55所SiC MOSFET已搭载到一汽红旗等多家国内车企,装车量达百万辆。今年4月,中电科55所与一汽联合研发的首款750V SiC功率芯片完成流片;
瞻芯电子规划了SiC MOSFET、SBD、驱动IC三大产品线,并先后研发量产了一系列按车用标准设计的产品,其中多款已获车规级认证,并批量“上车”应用;
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三就是加快第三代半导体人才的培养,以碳化硅为代表的第三代半导体是一个非常新兴的行业,国内外相关人才都非常稀缺,必须加快自身人才的培养,这也是行业可持续发展的关键。
首先是“产能为王”,一定要加快产能的建设,让碳化硅器件的产能跟上新能源市场的需求;
二是加快主驱芯片可靠性验证工作,目前碳化硅最大的应用场景就是新能源汽车的电驱部分,而电驱对芯片的可靠性要求极高,一般对芯片的验证周期在一年半以上,因此必须抓住时间窗口,尽快通过可靠性验证工作;
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